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《金刚石薄膜沉积制备工艺与应用(21世纪新材料科学与技术丛书)》
金刚石薄膜沉积制备工艺与应用(21世纪新材料科学与技术丛书)
编号: PT674700
作者:戴达煌 周克崧 著
译者:
开本:
ISBN:750242775
出版社:
出版日期:
装帧:
书夫曼编号:1357294
原价: 20
普通会员:18.7  一星会员:18.14
二星会员:17.77  三星会员:17.39

内容简介
这是一本较全面地叙述金刚石薄膜沉积制备技术与应用的书。本书从金刚石薄膜的优异性能和应用前景出发,阐述了各种沉积薄膜的制备方法;论述了金刚石膜的非平衡热力学和金刚石膜生长的动力学因素;较详尽地探讨了能大面积沉积金刚石膜的热丝装置和当今沉积速率最高的等离子射流装置的一些关键技术和成膜工艺;同时介绍了性能接近金刚石膜、易实现产业化、应用前景看好的类金刚石膜未来的制备工艺、性能和应用。最后展望了金刚石膜的发展前景,指出金刚石膜必将成为21世纪有影响的功能薄膜材料。 本书可供从事材料科学与工程的研究人员,有关的工程技术人员,特别是从事金刚石薄膜的科技工者阅读;也可供材料专业高年级学生、研究生从事金刚石薄膜研究时参考。

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目录
第1章 概论
1 金刚石薄膜的优异性能及其应用前景
……
第2章 金刚石薄膜沉积的非平衡势力学与形成机理
1 概述
……
第3章 金刚石薄膜沉积生长的动力学因素与动力学方程
1 金刚石薄膜沉积生长的一些动力学因素
……
第4章 高速大面积沉积金刚石薄膜的装置
1 大面积沉积金刚石薄膜的热丝CVD装置
……
第5章 金刚石膜沉积工艺
1 金刚石膜的主要沉积方法和成膜生长概述
……
第6章 类金刚石薄膜(DLC膜)
1 DLC膜的概述与表征
……
第7章 结语与展望
1 金刚石膜进展概况
……


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