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《微机械电子系统及其应用》
作者:
刘广玉
译者:
开本:
1/16
ISBN:
781077183
出版社:
北京航空航天大学出版社
出版日期:
2003-02-01
装帧:
书夫曼
编号:
504984
原价:
16
元
普通会员:
14.96
元
一星会员:
14.51
元
二星会员:
14.21
元
三星会员:
13.91
元
内容简介
本书综合当前公开发表的大量有关微机电系统(MEMS)的科技文献和我们近几年研究工作的成果,主要介绍当今微机电系统的内容、应用及其发展。内容包括微机电系统的组成和应用、微机电系统功能材料、微机械制造技术、微机械执行器、微机械传感器及微机械弱信号检测与处理6部分。 全书内容丰富,图文恰当,新颖实用。可作为高校有关专业研究生和高年级大学生的教材,也可供检测与控制等微工程领域的工程技术人员参考。
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目录
1,微机电系统的组成和应用
2,微机电系统功能材料
3,微机械制造技术
4,微机械执行器
5,微机械传感器
6,微机械弱信号检测与处理
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