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《微机械电子系统及其应用》
微机械电子系统及其应用
作者:刘广玉
译者:
开本:1/16
ISBN:781077183
出版社:北京航空航天大学出版社
出版日期:2003-02-01
装帧:
书夫曼编号:504984
原价: 16
普通会员:14.96  一星会员:14.51
二星会员:14.21  三星会员:13.91

内容简介
    本书综合当前公开发表的大量有关微机电系统(MEMS)的科技文献和我们近几年研究工作的成果,主要介绍当今微机电系统的内容、应用及其发展。内容包括微机电系统的组成和应用、微机电系统功能材料、微机械制造技术、微机械执行器、微机械传感器及微机械弱信号检测与处理6部分。   全书内容丰富,图文恰当,新颖实用。可作为高校有关专业研究生和高年级大学生的教材,也可供检测与控制等微工程领域的工程技术人员参考。

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目录

1,微机电系统的组成和应用
2,微机电系统功能材料
3,微机械制造技术
4,微机械执行器
5,微机械传感器
6,微机械弱信号检测与处理


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